BX3M系列采用了模块化设计，为广泛的材料学和工业应用提供了多样化的解决方案。BX3M增强了与Stream软件的集成性，从而为常规显微镜检查和数码成像用户提供了从观察到报告创建的无缝工作流程。

照明器的设计大程度减少了显微镜操作过程中所必须的复杂操作。 照明器前端的旋钮使用户能够轻松地改变观察方法。操作者可以在反射光显微镜检查时快速切换*常用的观察方法，比如从明场观察到暗场观察，到偏光观察，以随时改变不同类型的分析。此外，可以旋转检偏镜来实现简单偏光观察的调节。

 

操作者能够在经常使用的观察方法之间快速切换（AlSi的抛光态样品）

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直观的显微镜控制：视场光阑和孔径光阑的简单设置

使用正确的孔径光阑和视场光阑设置能够获得良好的图像对比度，还可以充分利用物镜的数值孔径。指示标志可引导用户根据观察方法和所用物镜进行正确的设置。

 

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快速找到焦点：对焦刻度标尺

机架上的对焦刻度标尺可以让操作者快速锁定焦点。操作者不用通过目镜查看样品就可以大致地对准焦点，从而在检查具有不同高度的样品时节省了时间。

 

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一致的照明：智能光强管理

在初始设定时，可以调节照明强度，使其与编码照明器和/或编码物镜转换器的特定硬件配置匹配。

 

 

传统的光强

 

传统显微镜中，提高了放大倍率，以及使用需要更多光线的观察方法后，图像会变得更暗。

智能光强管理

 

改变放大倍率或观察方法时，显微镜自动调节光强到正确值。

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方便而人性化的操作

人性化设计对所有用户都至关重要。无论是单机显微镜用户，还是集成了Stream图像分析软件的显微镜系统用户，都能得益于可以清晰显示显微镜编码型硬件位置的人性化操作设计的手动控制器。简单的手动开关让用户能够专注于样品和检查工作本身。

 

用于旋转电动物镜转换器的手动开关

 

手动控制器

 

曝光按钮

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专为图像分析而设计的系统

可恢复显微镜设置：编码硬件

BX3M采用了新的编码功能，将显微镜的硬件设置与奥林巴斯Stream图像分析软件整合在一起。观察方法、照明强度和物镜位置全都记录在软件和/或手动控制器里。编码功能可实现显微镜设置与每幅图像一起自动保存，从而可轻松完成此后的还原设置，以及为报表提供文档记录。既节省了操作者的时间，又*大程度地减小了使用不正确设置的概率。当前的观察设置总是清晰地显示在手动控制器和软件上。

操作步骤	操作者A	操作者B
不同的操作者使用不同的设置
易于验证正确的设置
使观察设置保持同步
尽管操作者不同，但设置相同

MIX观察：让未见变为可见

BX3M的MIX观察技术组合了明场和暗场照明方法。MIX照明滑块中的LED光源，以定向暗场光线照射样品。这种方式类似于传统暗场照明，但又可为LED的不同角度光线照射提供四分象限选择功能。这种定向暗场与明场、荧光、或偏光的组合称为MIX照明，有助于突出显示缺陷和区分隆起与凹陷表面。

传统的

明场将光线直接照射在样品上，暗场则使光线沿物镜的周围从侧面照射样品，突出显示了划痕和缺陷。

先进的

MIX观察是通过一个环形LED光源来形成明场、荧光或偏光与定向暗场的组合。可以调节LED光源，选择从哪个方向进行照明。该方法可在传统方法无法观察的表面上获得独有的对比度并可突出表面特征。

 

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即时MIA：轻松移动载物台即可进行全景拍摄

现在不需要电动载物台，仅仅移动手动载物台上XY旋钮即可方便而快捷地拼接图像。奥林巴斯Stream软件采用图案识别技术来生成全景图像，为用户提供了比单一画面更广阔的视野。

 

一枚硬币的即时MIA图像。

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EFI：创建超景深图像

Stream软件的景深扩展成像（EFI）功能能够获取高度超过物镜焦深的样品图像，把通过不同焦面的图像叠加在一起，创建出一幅超景深图像。可以使用手动或电动Z轴机构来执行EFI，并可创建一幅高度图，以轻松地识别样品结构。也可以用Stream桌面版在离线时创建EFI图像。

 

 

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HDR：同时捕捉高光和暗调区域的细节

高动态范围（HDR）使用了先进的图像处理技术，能够针对一幅图像内的亮度差异进行调节，从而减少了眩光。HDR改善了数字图像的视觉效果，从而为用户制作报告时提供*完美的图像。

 

借助HDR功能，同时清晰呈现出高光和暗调区域的细节
（样品：燃油喷射器）

 

借助HDR功能，增强了对比度
（样品：镁切片）

 

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可调整满足观察和分析的偏好要求

观察方法的选择范围宽广

反射光显微镜应用于各行各业。以下仅为一些通过不同观察方法获得的效果示例，如 明场(BF)、 暗场(DF)、微分干涉差(DIC)、偏光(PL)、荧光(FL)、红外(IR)、和透射光(TL)。

DF(示例: 表面贴装基板）

DIC(示例:球墨铸铁腐蚀检测）

PL(示例: 绢云母)

FL(示例: 半导体晶圆上的颗粒异物)

IR(示例:电极切片)

TL(示例: LCD彩色滤光片)

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常规或基础测量功能

通过Stream软件可以实现多种测量功能，从而使用户可以很轻松地从图像中获取有用的数据。在质量控制和检查时常常需要对图像进行测量。所有级别的Stream 授权软件都包括了交互式的测量功能，比如距离、角度、矩形、圆、椭圆和多边形。所有测量结果都与图像文件一起保存，用于今后的文件检索。

 

 

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计数和测量

目标探测和尺寸分布测量，是数码图像中重要的应用。Stream软件使用阈值分割方法进行目标探测，能够可靠地从背景中分离目标（比如颗粒、划痕）。

 

 

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材料解决方案

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3D测量

使用外部电动对焦机构时，可以快速获取EFI图像，并以3D视图显示。获取的高度数据可用于剖面上的3D测量，或通过单视图进行3D测量。

 

3D表面视图（粗糙度试验样品）

 

单视图和3D剖面测量

 

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容纳各类样品

可以容纳更多的样品类型和尺寸

新型150×100mm载物台在X方向上提供了比以前的型号更大的行程。再加上其载物台板的平板式设计，可以轻松地将大样品，或多个样品放置在载物台上。载物台板上开有小孔，可用于固定样品架。更大的载物台为用户提供了灵活性，使他们能够在一台显微镜上检查更多的样品，从而节省了宝贵的实验室空间。可调节扭力的载物台方便了高倍下窄视野的微调定位。

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样品高度和重量的高适应性

 

 BX53MRF-S

使用选配的模块组件可以将高105mm的样品放置在载物台 上。由于改进了调焦机构，因此显微镜可以容纳*重6kg的总重量（样品+载物台）。这就意味着BX3M可以检查更大、更重的样品，从而减少了实验室内所需的显微镜数量。通过战略性地将用于6英寸晶圆的旋转托架放置在偏离中心的位置，在100mm行程范围内移动时，用户仅旋转晶圆托架即可观察整个晶圆表面。优化了载物台的扭力调节，以便于使用，舒适的手柄使用户更易于找到样品的感兴趣区域。

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样品尺寸大小的灵活性

 

BXFM

如果样品太大，难以放置在常规显微镜载物台上，则可以把用于反射光显微镜观察的核心光学部件组装到一个模块化的系统里。这种模块化系统，就是BXFM，它可以通过一个支撑杆安装在更大的支架上，或使用安装托架安装在另一台仪器上。这就使用户能够充分利用优异的光学元件的优势，即使其样品在尺寸或形状上都很独特。

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兼容ESD：保护电子装置，防止受到静电放电的影响

BX3M具有ESD静电消除能力，防止电子装置受到由人为或环境因素而导致的静电的影响。
 

入门		标准		高级
光学系统			UIS2光学系统(无限远校正系统)
主机	显微镜镜架		BX53MRF-S （反射）	BX53MTRF-S （反射/透射）	BX53MRF-S （反射）	BX53MTRF-S （反射/透射）	BX53MRF-S （反射）	BX53MTRF-S （反射/透射）
	聚焦		行程：25毫米 每转行程微调：100 μm *小分度：1 μm 带有用于粗调的上限限位器和扭矩调节
	*高标本高度		反射：65毫米（无垫片），105毫米（带BX3M-ARMAD） 反射/透射：35毫米（不带垫片），75毫米（带BX3M-ARMAD）
	观察筒	宽视场(F.N.22)	U-TR30-2-2 倒像：三目镜筒
	照明	反射光 透射光	BX3M-KMA-S 白光LED，BF / DIC / POL / MIX FS，AS（带定心机构），BF / DF互锁		BX3M-RLAS-S 编码，白光LED，BF / DF / DIC / POL / MIX FS，AS（带定心机构），BF / DF互锁
			－	BX3M-LEDT 白光LED 阿贝/长工作距离聚光镜	－	BX3M-LEDT 白光LED 阿贝/长工作距离聚光镜	－	BX3M-LEDT 白光LED 阿贝/长工作距离聚光镜
	物镜转换器		U-5RE-2 用于明场（BF）：五孔		U-D6BDRE 用于明场/暗场（BF/DF）：六孔			U-D6BDRES-S 用于明场/暗场（BF/DF）：六孔，编码型
	目镜（F.N.22)		WHN10 WHN10X-H
	MIX观察		－					BX3M-CB 控制箱 BX3M-HS 手动开关 U-MIXR 用于反射光观察的MIX插片 U-MIXRCBL U-MIXR电缆
	聚光镜（长工作距离）		－	U-LWCD	－	U-LWCD	－	U-LWCD
	电源线		UYCP (x1)					UYCP (x2)
	重量		反射：约15.8公斤（显微镜镜架7.4公斤） 反射/透射：约18.3公斤（镜架7.6公斤）
物镜	MPLFLN套装		MPLFLN5X, 10X, 20X, 50X, 100X BF/POL/FL观察		－
	MPLFLN BD 套装		－		MPLFLN5XBD, 10XBD, BD, 50XBD, 100XBD BF / DF / DIC / POL / FL观察
	MPLFLN-BD, LMPLFLN-BD 套装		－		MPLFLN5XBD, 10XBD, LMPLFLN20XBD, 50XBD, 100XBD BF / DF / DIC / POL / FL观察
载物台 (X × Y)	76毫米x 52毫米 组件		U-SVRM, U-MSSP 同轴右手柄载物台/ 76（X）×52（Y）毫米，带扭矩调节
	100毫米 x 100毫米 组件		U-SIC4R2, U-MSSP4 大尺寸同轴右手柄载物台/ 100（X）x 100（Y）毫米，Y轴配有锁定机构
	100毫米x 100（G）毫米组件		U-SIC4R2, U-MSSPG 大尺寸同轴右手柄载物台/ 100（X）x 100（Y）毫米，Y轴配有锁定机构（玻璃板）
	150毫米x 100毫米组件		U-SIC64, U-SHG, U-SP64 大尺寸同轴右手柄载物台/ 150（X）x 100（Y）毫米，带扭矩调节，Y轴配有锁定机构
	150毫米x 100（G）毫米组件		U-SIC64, U-SHG, U-SPG64 大尺寸同轴右手柄载物台/ 150（X）x 100（Y）毫米，带扭矩调节，Y轴配有锁定机构（玻璃板）
选配	MIX观察组件*		BX3M-CB, BX3M-HS, U-MIXR, U-MIXRCBL				－
	DIC*		U-DICR
	中间镜筒		U-CA, U-EPA2, U-TRU
	滤光片		U-25ND6, U-25ND25, U-25LBD, U-25LBA, U-25Y48, U-AN360-3, U-AN360P, U-PO3, U-POTP3, U-25IF550, U-25L42, U-25, U-25FR
	聚光镜用滤光片		43IF550-W45, U-POT
	载物台板		U-D6BDRES-S, U-D6RE-ESD-2, U-D6BDRES-ESD, U-5RES-ESD
	试样托架		U-HRD-4, U-HLD-4, U-HRDT-4, U-HLDT-4
	手柄橡胶		U-SHG, U-SHGT

_{*不能与U-5RE-2一起使用。}

BX53M / BXFM ESD单元

项目	显微镜镜架	BX53MRF-S, BX53MTRF-S
	照明器	BX3M-KMA-S, BX3M-RLA-S, BX3M-URAS-S, BX3M-RLAS-S
	物镜转换器	U-D6BDREMC, U-D6BDRES-S, U-D6RE-ESD, U-D5BDREMC-ESD, U-5RES-ESD
	载物台	U-SIC4R2, U-MSSP4